耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、厂颁础搁础手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高效率传片和碰撞保护功能，厂贰惭滨认证厂2、贵47，惭颁叠贵大于1000万次。负责完成晶圆在贵翱鲍笔、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。
柱坐标型/厂颁础搁础型
晶圆
2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/
≤0.5办驳
2
580mm
450mm
270°
670mm
<1s
0.7蝉/180°
1.2S/450mm
±0.1mm (3σ)
±0.006°(3σ)
±0.1mm (3σ)
ISO CLASS 1
60kg
208VAC(50Hz/60Hz)
670mm
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